Alvo do titânio de Gr1 Gr2, disco puro do titânio que engasga o alto densidade do alvo

disco puro de alta qualidade do titânio do titânio Gr1 Gr2 que engasga o alvo

O material de alvo é o material de alvo bombardeado por partículas carregadas de alta velocidade. Há metais, ligas, óxidos, etc. substitui materiais de alvo diferentes (tais como de alumínio, de cobre, de aço inoxidável, o titânio, os alvos do níquel, etc.), você pode obter sistemas diferentes do filme (tais como o filme super-duro, desgaste-resistente, anticorrosivo da liga, etc.).

(1) alvos do metal: alvo do níquel, Ni, alvo do titânio, si, alvo do zinco, Zn, alvo do cromo, Cr, alvo do magnésio, magnésio, alvo do nióbio, N.B., alvo da lata, Sn, alvo de alumínio, Al, alvo do índio, dentro, alvo do ferro, Fe, alvo de alumínio do zircônio, ZrAl, alvo de alumínio do titânio, TiAl, alvo do zircônio, Zr, alvo de alumínio do silicone, AlSi, alvo do silicone, si, Cu do alvo do cobre, alvo T do tântalo, a, alvo do germânio, Ge, alvo de prata, AG, alvo do cobalto, Co, alvo do ouro, Au, alvo do gadolínio, Gd, alvo do lantânio, La, alvo do ítrio, Y, alvo do cério, Ce, alvo do tungstênio, w, alvo de aço inoxidável, alvo do níquel-cromo, NiCr, alvo do háfnio, Hf, alvo do molibdênio, Mo, alvo do ferro-níquel, FeNi, alvo do tungstênio, W, etc.

(2) alvos cerâmicos: Alvo de ITO, alvo do óxido de magnésio, alvo do óxido de ferro, alvo do nitreto de silicone, alvo do carboneto de silicone, alvo do nitreto do titânio, alvo do óxido de cromo, alvo do óxido de zinco, alvo do sulfureto do zinco, alvo do dióxido de silicone, um alvo do óxido de silicone, alvo do óxido do cério, alvo do dióxido de zircônio, alvo do pentóxido do nióbio, alvo do dióxido de titânio, alvo do dióxido de zircônio, alvo do dióxido do háfnio, alvo do diboride do titânio, alvo do diboride do zircônio, alvo do trióxido do tungstênio, alvo do óxido de alumínio, óxido do tântalo, alvo do pentóxido do nióbio, alvo do fluoreto do magnésio, alvo do fluoreto do ítrio, alvo do selenide do zinco, alvo do nitreto de alumínio, alvo do nitreto de silicone, alvo do nitreto de boro, alvo do nitreto do titânio, silicone alvo do carboneto, alvo do nióbito do lítio, alvo do titanate do praseodymium, alvo do titanate do bário, alvo do titanate do lantânio, alvo do óxido do níquel, engasgando o alvo, etc.

2. As exigências de desempenho principais do alvo

(1) pureza

A pureza é um dos indicadores de desempenho principais do alvo, porque a pureza do alvo tem uma grande influência no desempenho do filme. Contudo, em aplicações práticas, as exigências da pureza dos materiais de alvo são igualmente diferentes. Por exemplo, com o desenvolvimento rápido da indústria da microeletrônica, o tamanho de bolachas de silicone cresceu de 6", 8" a 12", e a largura prendendo foi reduzida de 0.5um a 0.25um, a 0.18um ou mesmo a 0.13um, a pureza precedente do alvo de 99,995% pode cumprir as exigências técnicas de 0.35umIC, e a preparação das linhas 0.18um exige 99,999% ou mesmo 99,9999% para a pureza do alvo.

(2) índice de impureza

As impurezas no sólido do alvo e no vapor do oxigênio e de água nos poros são as fontes de poluição principais para o filme depositado. Os alvos diferentes têm exigências diferentes para índices de impureza diferentes. Por exemplo, o alumínio puro e os alvos da liga de alumínio usados na indústria do semicondutor têm exigências especiais para o índice alcalino e o índice do elemento radioativo.

(3) densidades

A fim reduzir os poros nos sólidos do alvo e melhorar o desempenho do filme engasgado, o alvo é exigido geralmente para ter uma densidade mais alta. A densidade do alvo afeta não somente a taxa engasgar, mas igualmente afeta as propriedades elétricas e óticas do filme. Mais alta a densidade do alvo, melhor o desempenho do filme. Além, aumentar a densidade e a força do alvo permite que o alvo suporte melhor o esforço térmico durante engasgar. A densidade é igualmente um dos indicadores de desempenho chaves do alvo.

distribuição de tamanho de grão (de 4) e de tamanho da grão

O material de alvo é geralmente policristalino, e o tamanho de grão pode ser na ordem dos mícrons aos milímetros. Para o mesmo material de alvo, a taxa engasgar do alvo com grões finas é mais rápida do que aquela do alvo com grões grosseiras; a espessura do filme depositado engasgando o alvo com uma diferença pequena no tamanho de grão (distribuição uniforme) é mais uniforme.

3. Material

TA0, TA1, TA2, TA9, TA10, ZR2, ZR0, GR5, GR2, GR1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1

4. Finalidade

É amplamente utilizado em revestimentos decorativos, em revestimentos desgaste-resistentes, em CD e em VCDs na indústria eletrónica, assim como em vários revestimentos do disco magnético.

filmes do Tungstênio-titânio (W-si) e tungstênio-titânio (W-si) - baseou filmes da liga são filmes de alta temperatura da liga com uma série de propriedades excelentes insubstituíveis. O tungstênio tem propriedades tais como o coeficiente alto de ponto de derretimento, de grande resistência e baixo da expansão térmica. Com o si a liga tem o baixo coeficiente de resistência, a boa estabilidade térmica e a resistência de oxidação. Como vários dispositivos exija a fiação do metal que joga um papel condutor, tal como o Al, Cu, e o AG foi amplamente utilizado e pesquisado. Contudo, o metal prendendo próprio facilmente é oxidado, reage com o ambiente circunvizinho, e tem a adesão pobre à camada dielétrica. É fácil difundir nos materiais da carcaça dos dispositivos tais como o si e o SiO2, e formará o metal e o si em uma temperatura mais baixa. Os compostos, que atuam como impurezas, degradam extremamente o desempenho do dispositivo. A liga do W-si é fácil ser usada como uma barreira de difusão prendendo devido às propriedades termomecânicas estáveis, à baixa mobilidade de elétron, à resistência de corrosão alta e à estabilidade química, a especialmente apropriadas para o uso em ambientes atuais e de alta temperatura altos.

2.Image

3.Factory & certificado

4.Package & entrega

pacote:

Envolva o material de alvo do si com algodão da pérola e põe-no em uma caixa de madeira. Nosso método de empacotamento razoável pode evitar os materiais de alvo do colisão um com o otro durante o transporte, e pode igualmente impedir o impacto de bens externos no produto, e assegura-se de que o produto esteja entregado após a integridade da entrega.

---1. O empacotamento selado, a seguir pôs na caixa cas ou na caixa padrão padrão da madeira compensada.

---caixa 2.Using feita sob encomenda exclusiva com logotipo do cliente, cada empacotamento individual, para ajudar vendas diretas dos compradores.

---Aceite a exigência de cliente

Certifique-se de que cada pacote é específico para you.ensure quando você obtiver os bens não danificou.