Titânio da liga de Gr1 Gr2 Gr5 TiAl que engasga o alvo para o revestimento de PVD

Gr1 Gr2 Gr5 liga de titânio TiAl Titânio Sputtering Target Para revestimento PVD

- Não.

1O material alvo

O material alvo é o material alvo bombardeado por partículas carregadas de alta velocidade. Há metais, ligas, óxidos, etc. Substitua diferentes materiais alvo (como alumínio, cobre,aço inoxidável, titânio, níquel, etc.), podem ser obtidos diferentes sistemas de película (como película de liga anti-corrosiva, resistente ao desgaste, super-dura, etc.).

(1) Metais alvos: níquel alvo, Ni, titânio alvo, Ti, zinco alvo, Zn, cromo alvo, Cr, magnésio alvo, Mg, nióbio alvo, Nb, estanho alvo, Sn, alumínio alvo, Al, indio alvo, In,alvo de ferro, Fe, alvo de alumínio zircônio, ZrAl, alvo de alumínio titânio, TiAl, alvo de zircônio, Zr, alvo de alumínio silício, AlSi, alvo de silício, Si, alvo de cobre Cu, alvo de tântalo T, a,Alvo de germânio, Ge, alvo de prata, Ag, alvo de cobalto, Co, alvo de ouro, Au, alvo de gadolínio, Gd, alvo de lantanum, La, alvo de ítrium, Y, alvo de cério, Ce, alvo de tungstênio, w, alvo de aço inoxidável,Alvo de níquel-cromo, NiCr, hafnio alvo, Hf, molibdênio alvo, Mo, ferro-níquel alvo, FeNi, tungstênio alvo, W, etc.

(2) Alvos cerâmicos: alvo ITO, alvo de óxido de magnésio, alvo de óxido de ferro, alvo de nitruro de silício, alvo de carburo de silício, alvo de nitruro de titânio, alvo de óxido de cromo, alvo de óxido de zinco,Alvo de sulfeto de zinco, meta de dióxido de silício, uma meta de óxido de silício, meta de óxido de cério, meta de dióxido de zircônio, meta de pentóxido de nióbio, meta de dióxido de titânio, meta de dióxido de zircônio, meta de dióxido de hafnium,alvo de diboreto de titânio, diboreto de zircônio alvo, trióxido de tungstênio alvo, óxido de alumínio alvo, óxido de tântalo alvo, pentóxido de nióbio alvo, fluoreto de magnésio alvo, fluoreto de ítrium alvo, seleneto de zinco alvo,Alvo de nitreto de alumínio, alvo de nitruro de silício, alvo de nitruro de boro, alvo de nitruro de titânio, alvo de carburo de silício, alvo de niobato de lítio, alvo de titanato de praseódimio, alvo de titanato de bário,alvo de titanato de lantan, alvo de óxido de níquel, alvo de pulverização, etc.

2Os principais requisitos de desempenho do objectivo

(1) Pureza

A pureza é um dos principais indicadores de desempenho do alvo, porque a pureza do alvo tem uma grande influência no desempenho do filme.Os requisitos de pureza dos materiais-alvo também são diferentesPor exemplo, com o rápido desenvolvimento da indústria de microeletrónica, o tamanho das wafers de silício aumentou de 6", 8" para 12", e a largura da fiação foi reduzida de 0,5um para 0,25um, 0,25um para 0,25um.18um ou mesmo 0.13um, a pureza anterior de 99,995% pode atender aos requisitos técnicos de 0,35umIC, e a preparação de linhas de 0,18um requer 99,999% ou mesmo 99,9999% para a pureza do alvo.

(2) Conteúdo de impurezas

As impurezas no sólido alvo e o oxigénio e o vapor de água nos poros são as principais fontes de poluição para o filme depositado.Diferentes alvos têm requisitos diferentes para diferentes conteúdos de impurezasPor exemplo, os alvos de alumínio puro e de liga de alumínio utilizados na indústria de semicondutores têm requisitos especiais para o teor de metais alcalinos e o teor de elementos radioactivos.

(3) Densidade

A fim de reduzir os poros nos sólidos do alvo e melhorar o desempenho da película pulverizada, o alvo geralmente é necessário ter uma densidade maior.A densidade do alvo não só afeta a taxa de pulverizaçãoA densidade do alvo é maior, melhor o desempenho do filme.aumentar a densidade e a resistência do alvo permite que o alvo resista melhor ao estresse térmico durante o pulverizaçãoA densidade é também um dos principais indicadores de desempenho da meta.

(4) Tamanho e distribuição dos grãos

O material alvo é geralmente policristalino, e o tamanho do grão pode ser da ordem de micrões a milímetros.A taxa de pulverização do alvo com grãos finos é mais rápida do que a do alvo com grãos grosseiros.; a espessura da película depositada por pulverização do alvo com uma pequena diferença no tamanho do grão (distribuição uniforme) é mais uniforme.

3Material.

(a)Titânio puro GR1 GR2

(2) Ligação de titânio: titânio Gr5, titânio alumínio TiAl, titânio níquel TiNi, titânio cromo TiCr, titânio zircônio TiZr, titânio cobre TiCu, etc.

(3)Outras matérias: alvos de pulverização de zircônio, alvos de pulverização de cromo, alvos de pulverização de tungstênio, alvos de pulverização de cobre, etc.

4Propósito.

É amplamente utilizado em revestimentos decorativos, revestimentos resistentes ao desgaste, CDs e VCDs na indústria eletrônica, bem como vários revestimentos de discos magnéticos.

Os filmes de tungsténio-titânio (W-Ti) e os filmes de liga à base de tungsténio-titânio (W-Ti) são filmes de liga de alta temperatura com uma série de excelentes propriedades insubstituíveis.O tungstênio tem propriedades como alto ponto de fusãoA liga W/Ti tem baixo coeficiente de resistência, boa estabilidade térmica e resistência à oxidação.Tais vários dispositivos exigem fios metálicos que desempenham um papel condutorNo entanto, o próprio metal de fiação é facilmente oxidado, reage com o ambiente circundante,e tem uma baixa adesão à camada dielétricaÉ fácil de difundir nos materiais de substrato de dispositivos como Si e SiO2, e formará metal e Si a uma temperatura mais baixa.Degradar significativamente o desempenho do dispositivoA liga W-Ti é fácil de utilizar como barreira de difusão de cablagem devido às suas propriedades termomecânicas estáveis, baixa mobilidade de elétrons, elevada resistência à corrosão e estabilidade química,especialmente adequado para utilização em ambientes de alta corrente e de alta temperatura .

Imagens detalhadas

Fábrica

Embalagem e Entrega:

O nosso método de embalagem razoável pode evitar que os materiais-alvo colidam entre si durante o transporte.e também pode prevenir o impacto de bens externos no produto, e garantir que o produto é entregue após a entrega Integrity.

- Um.A embalagem selada, depois colocada na caixa de cartão ou na caixa de madeira compensada padrão.

- Dois.Usando cartão exclusivo personalizado com o logotipo do cliente, cada embalagem individual, para ajudar os compradores a dirigir as vendas.

--- Aceitar as exigências do cliente

Certifique-se de que cada pacote é feito sob medida para você.Certifique-se de que, quando receber as mercadorias, não estão danificadas.